真空閥門設(shè)計原則一般應有以下幾點:
①閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小，而且閥體的漏氣速率要小;
?、陂y門密封部件耐磨性要好，特別是閥座與閥板密封部件要能反復使用，壽命長;
③閥門的通導能力要大;
?、荛y門材料應具有低飽和蒸汽壓、高耐蝕能力和高化學穩(wěn)定性;
⑤超高真空閥門應耐烘烤，烘烤溫度一般不低于150℃，不高于高450℃;
?、揲y門結(jié)構(gòu)要簡單，造型美觀大方，開關(guān)輕便、靈活，開關(guān)狀態(tài)應有標識，大型閥門應有起吊裝置, 操作方便，維修容易;
⑦閥門零部件加工工藝性要好，表面處理工藝，閥門連接法蘭應符合真空法蘭標準要求。 |
